1)真空获得:机械泵,罗茨泵,扩散泵。
2)仪器及电源:复合真空计,操作电源,加热控温电源
型号 |
工作区尺寸 |
装炉量 |
额定温度 |
极限真空度 |
加热功率 |
炉温均匀性 |
mm |
kg |
℃ |
(空炉冷态)Pa |
kw |
℃ |
|
HTSJ-50 |
250*220*500 |
50 |
1550 |
≤6.7*10-2 |
45 |
≤±5 |
HTSJ-100 |
320*300*600 |
100 |
60 |
|||
HTSJ-150 |
350*350*700 |
150 |
75 |
|||
HTSJ-200 |
400*400*750 |
200 |
90 |
|||
HTSJ-300 |
450*450*850 |
300 |
150 |